對于厚膜折射率的測量，單色光被直接照射到被測樣品上，這樣，從薄膜表面反射回來的光的干涉小值就會發(fā)生變化，光的入射角也會發(fā)生變化。在這種技術(shù)中，薄膜厚度是由兩個干涉小值的角的位置計算出來的。對于這種測量條件——薄膜具有兩個或兩個以上的干擾小值——薄膜厚度必須大于低脫粒率，通常為2微米。樣品夾持機(jī)采用真空從背面支撐樣品，安裝方便簡單。可測量薄膜/基底的類型，硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的氧化物、氮化物、介質(zhì)、聚合物或薄膜。可測量的薄膜/襯底類型：氧化物、氮化物、介電材料、聚合物、或硅襯底上幾乎任何透明或半透明材料的薄膜。

　　

　　主要測試功能：

　　1、薄膜及波導(dǎo)折射率/厚度/光損測量；

　　2、體材料折射率的測量；

　　3、薄膜及體材料的雙折射測量；

　　4、液體折射率的測量；

　　5、折射率隨溫度變化的測量分析；

　　6、折射率隨深度變化的測量分析；

　　

　　主要應(yīng)用領(lǐng)域：

　　1、光波導(dǎo)器件芯片的制備；

　　2、激光晶體的制備；

　　3、聚合物材料的屬性研究；

　　4、顯示技術(shù)材料的測量；

　　5、光/磁存儲材料的測量；

　　6、光學(xué)薄膜的制備。